Химичен състав: обикновено се прави от чист цирконий (Zr) или циркониеви сплави (като циркониево-хафниева сплав Zr-Hf сплав).
Структурна форма: Обичайните форми включват кръгли мишени и правоъгълни мишени.
Точност на размерите: изисква висока точност на размерите и чистота на повърхността.
Плътност: Необходима е висока плътност, за да се осигури стабилност и качество на филма по време на разпръскване.
Качество на повърхността: Повърхността трябва да е гладка, без пукнатини, без видими пори и примеси.
Циркониев целеви продукт с детайли на изображението
zr метална цел за разпръскване
Целева цена за разпръскване на цирконий
